플라즈마를 이용하여 증발원(Target)표면에 아크,E-Beam,Direct heating등을 이용하여 금속물질을 증발시킨 후 바이어스(Bias)전압을 가해 가속시켜 제품의 표면에 물질을 증착하는 방법입니다.
코팅막 | 색상 | 경도(Hy) | 내마모성 | 내소착성 | 내식성 | 내산화성 | 적용 |
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TIN | 금색 | -2,500 | ★★ | ★★ | ★★ | ★★ | 절삭공구, 금형, 기능성 부품, 장식 |
TIAIN | 검정 | -3,000 | ★★★ | ★★ | ★★ | ★ | 절삭공구 |
CrN | Metal | -2,000 | ★ | ★★★ | ★★★ | ★★ | 금형, 기계부품 (내식성) |
PaCVD Coating은 고온 CVD법을 응용한 방법으로 저온에서 플라즈마 에너지를 보조 에너지원으로 이용한 화학적 증착법으로서 사용되는 가스 조성에 따른 TiN, TiCN, TiC, TiBN등의 여러 종류의 박막을 얻을 수 있으며 또한 다층의 박막 형성이 가능한 Coating 방법입니다.
DLC(Diamond Like Carbon)는 다이아몬드의 높은 경도와 흑연의 윤활성을 가지며 탄소와 수소로 구성된 비정질 코팅막 입니다.
DLC는 주로 PVD 또는 PACVD공법으로 100℃~300℃의 온도에서 합성되고, 내마모성, 윤활성이 우수하고, 전기적 절연, 화학적 안정성 및 광투과성을 가지고 있습니다.
철 또는 비철계 금속 및 플라스틱, 세라믹에도 코팅이 가능합니다.
주요 탄소계 코팅은 수소의 함량과 원자간의 결합구조에 따라 DLC(a-C:H), ta-C, Diamond 코팅으로 구분됩니다.
ta-C | a-C:H | Diamond | Graphite | |
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Crystal structure | Amorphous sp, sp2, sp3 혼합 |
Amorphous sp, sp2, sp3 혼합 |
Cubic(sp3) | Hexagonal(sp2) |
Density (g/cm3) | 2.1-2.5 | 1.5-2.0 | 3.52 | 2.3 |
Hardness | 900 - 8500 | 900 - 8500 | 7000 - 10000 | |
Thermal stability | > 700 °C | > 200 °C | > 700 °C | > 700 °C |
마찰계수 | 0.005 -0.2 | 0.005 -0.2 | 0.03 - 0.07 | |
Raman | 1550 cm-1 1330 cm-1 012 |
1000 - 1550 cm-1 | 1330 cm-1 | 1580 cm-1(G-line) 1350 cm-1 (D-line) |
TD(Thermal Diffusion)은 950~1,050℃의 바나듐 성분의 염욕에서 제품에 있는 탄소 성분과 확산 결합시켜 VC 층을 형성하는 공법입니다.
확산 결합 반응에 의한 우수한 코팅의 밀착력과, 고경도, 내소착 특성으로 프레스금형, 단조금형에 널리 이용됩니다.